99.999%乙烯（5N）、99.99%丙烯（4N）、99.999%甲烷（5N） 的用途及包装规格的详细说明

 1. 99.999%高纯乙烯（C₂H₄，5N）

用途： 

- 半导体制造：作为化学气相沉积（CVD）或原子层沉积（ALD）的碳源，用于生长碳基薄膜（如纳米碳管、石墨烯）。 

- 分析仪器：用于气相色谱（GC）的载气或标准气，确保检测精度（需极低杂质干扰）。 

- 光电材料：合成高纯度有机发光材料（OLED、光伏材料）。 

- 科研实验：超纯反应条件研究（如催化机理、高分子聚合）。 

包装规格： 

- 容器材质：内壁电抛光不锈钢钢瓶（SS 316L），阀门为隔膜阀或双阀设计，避免金属离子污染。 

- 压力与容量：高压钢瓶（10-15MPa），容积常见47L、50L，部分实验室用小钢瓶（4L-8L）。 

- 杂质控制：总杂质（O₂、H₂O、CO₂等）≤10ppm，需惰性气体置换和真空预处理。 

- 运输要求：避光、防震，钢瓶需贴“高纯气体”和“易燃气体”标识，符合ISO 14175标准。 

 2. 99.99%高纯丙烯（C₃H₆，4N）

用途： 

- 高端聚合物合成：生产高透明聚丙烯（用于医疗包装、光学器件）、高抗冲共聚物。 

- 电子化学品：制备高纯度丙烯酸酯（光刻胶原料）或电子级环氧丙烷（半导体清洗剂）。 

- 燃料研究：火箭推进剂组分或超临界流体实验（需精准纯度控制）。 

- 催化剂测试：评估新型催化剂在极低杂质条件下的活性与选择性。 

包装规格： 

- 容器选择：内壁钝化处理的铝合金钢瓶或镀镍钢瓶，阀门采用不锈钢隔膜阀。 

- 压力与状态：气态充装，压力12-15MPa，容积以40L为主；液态需低温储罐（-47.7℃以下）。 

- 纯度保障：通过分子筛吸附和多级精馏提纯，总烃杂质（丙烷、丁烯等）≤100ppm。 

- 特殊标识：钢瓶标签需注明“电子级”或“4N丙烯”，运输时按UN1077危险品分类。 

 3. 99.999%高纯甲烷（CH₄，5N）

用途： 

- 半导体工艺：用于碳化硅（SiC）外延生长、石墨烯合成或等离子体刻蚀的碳源。 

- 分析检测：作为气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）的载气或标准气，确保痕量检测无干扰。 

- 量子技术：稀释制冷机中作为冷却介质（需超低杂质，避免热噪声）。 

- 能源研究：甲烷水合物（可燃冰）的合成与分解实验。 

包装规格： 

- 容器处理：内壁电抛光+硅烷化处理的钢瓶，阀门配置高密封性CGA350接头。 

- 压力与容量：压缩气态储存，压力15-20MPa，常用钢瓶容积8L、40L、47L。 

- 杂质要求：H₂O ≤1ppm，O₂ ≤0.5ppm，总硫≤0.1ppm（防止催化剂中毒）。 

- 运输规范：需符合DOT-3AA或GB 5099标准，钢瓶填充前需氦检漏。 

 超高纯度气体通用注意事项 

1. 钢瓶预处理： 

   - 内壁电抛光、钝化或涂层处理，减少气体吸附和杂质释放。 

   - 充装前需多次抽真空并用高纯氮气置换。 

2. 阀门与管路： 

   - 使用隔膜阀、VCR接头或Swagelok接口，避免金属碎屑污染。 

   - 管路需全不锈钢并经过氦气检漏。 

3. 存储与运输： 

   - 避免高温（<30℃）和剧烈震动，钢瓶直立固定。 

   - 专用危险品车辆运输，配备泄漏监测装置。 

 参数对比表 

| 气体     | 纯度等级 | 典型用途                | 包装材质          | 压力/状态       | 关键杂质要求          | 

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| 乙烯(5N) | 99.999%  | 半导体沉积、GC载气      | 电抛光不锈钢      | 10-15MPa（气态）| O₂≤2ppm, H₂O≤1ppm    | 

| 丙烯(4N) | 99.99%   | 高端聚合物、电子化学品  | 钝化铝合金        | 12-15MPa（气态）| 总烃≤100ppm           | 

| 甲烷(5N) | 99.999%  | SiC外延、GC-MS载气      | 硅烷化钢瓶        | 15-20MPa（气态）| H₂O≤1ppm, O₂≤0.5ppm  |